第一台分步投影式光刻机,虽不像一些资料中描述的那般“领先世界”,但它却让国内在光刻机领域紧紧咬住了世界第一梯队的步伐,与顶端的差距最多只有七八年。
至此,z国光刻机技术发展史已然抵达顶点,但谁又能想到,它竟也成了一个辉煌时代的落幕?
随着大开放的深入,z国以积极的姿态融入世界,扑面而来的巨大机遇中也夹藏着许多“甜蜜的毒药”。
上世纪七八十年代,z国和m国度过了一段“蜜月期”,大到先进武器,小到各种民用产品,只要钱到位都不再是触不可及的奢望。
西方国家也表现得相当“慷慨”,连光刻机这样的尖端产品也愿意出售。
可以说,西方对国内的“慷慨”,究竟是一时的好意还是险恶的阴谋,其中的利害实在意味深长。
另一方面,国内光刻机发展恰巧遭遇瓶颈,被卡在193nm光源已有小二十年。
既然能够轻松获取,为什么还要费劲研发呢?彼时的z国远不算富裕,两相对比,“买办思想”很快就占据了主流。
逆水行舟不进则退,z国与第一梯队的距离越来越大,很快便彻底脱节。
其实在这个领域,相比国内与美、日、欧的差距,第一梯队内部的斗争要惨烈且残酷得多。
光刻机的原理,其实并不复杂,甚至在发在初期,其复杂程度甚至不如照相机;一些对光刻机有需求的企业并不向专业厂商购买,而是买来零件自己组装,如英特尔。
而最早的光刻机发展潮流,是由m国人领导的。
1961年,m国gca公司研制出第一台接触式光刻机,成为光刻机产业的巨头。
1967年,在m国空军的支持下,珀金埃尔默仪器公司推出世界首台投影式光刻机micralign100,一夜间将芯片良率提升了7倍。
1978年,gca公司又推出步进式光刻机dsw4800,分辨率可达1微米。
虽然该型光刻机的单价高达45万美元,但各大企业仍趋之若鹜,根本不愁卖。至此,gca公司进入全盛时期,在其引领下,m国光刻机产业如日中天,殊不知养虎为患,由m国人打造的“产业盛世”已经进入了倒计时。
进入70年代,各大半导体厂商越来越多地选择东洋企业以配套光刻机的光学镜头,如尼康、佳能等。
在这个过程中,东洋企业将本不复杂的光刻机技术摸得一清二楚,并开始了自己的尝试。
随着光刻技术的不断进步,芯片制程越来越小,光刻机技术对光学系统的依赖也越来越重。在这个过程中,以光学元件见长的东洋企业逐渐崛起,飞快地从m国人手中夺走市场份额。gca公司没落并被收购,最终,东洋人成为光刻机领域新的领头羊。
历史上,1984年,正当国内对独立研发光刻机的追求逐渐被“买办思想”蚕食殆尽时,荷兰飞利浦公司在总部大楼前的空地上临时搭建了一排简易厂房,作为一家拥有31名员工的新成立的合资公司的办公场所,这个不起眼的小公司,便是后来掌握超过六成光刻机市场、地位无可撼动的荷兰阿斯麦asml公司,若想要生产10nm以下芯片,只能向该公司购买尖端光刻机,除此之外没有第二个选择;这样的光刻机,一台的售价为1.2亿美元,有钱还不一定能买到。
甚至,后来曾向阿斯麦公司订购一台先进光刻机,连定金都交了,谁料好巧不巧,荷兰费尔德霍芬一座工业园发生火灾,殃及阿斯麦公司的一家重要供应商,结果很多年后,国内也没收到货。
2007年,阿斯麦公司占据的市场份额首次超过尼康,世界头把交椅正式易主。
(本章完)