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第642章 新一代光刻机(2 / 2)

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实在有着些过于的高了些。

反正,这属于一个概念性的东西。

市场上面的光刻机,还依旧的能够满足需求,大家对于这极紫外光刻机并不急着要。

实际上,asml在1999年的时候才开始进行euv光刻机的研发工作。

计划是通过五年时间,在2004年的时候,就推出euv光刻机产品。

但是到了2010年才是搞出第一台euv光刻机原型机,2016年才是向下游客户正式供货。

凭借着euv光刻机,asml也是一举成为全球光刻机领域当之无愧的最大巨头。

光源对于光刻机的重要性,实在过于的重要了一些。

陈怀庆也是看过一些报道,说华国在极紫外光源上面是有着突破的。

也不知道具体情况到底如何。

网络上面的新闻,这很多都只是看上一个乐就行。

除了光源之外,工作台和新的光刻技术创新,也是能够提升最小工艺节点和生产效率以及产品良品率。

此时大家对极紫外光刻机没有什么信心,可是陈怀庆却知道,这东西真的能行啊!

所以陈怀庆已经要求墨塔微电研发euv光刻机,并且在投入上面,还不小。

首先就是在光源技术上面,得要先研究出来大功率的极紫外光源才行。

陈怀庆觉得,肯定没有什么问题的。

他可是记得,米国一直在推激光武器的概念。

然后华国的激光武器都已经可以实战化了,然后米国一下子就哑火了。

自己提出来的概念,怎么华国给先搞了出来?

极紫外光刻机是米国那边提出来的,为了打压霓虹的半导体行业,对于极紫外光刻机的研究,根本就不要霓虹参与进来。

事实上,靠着美欧的能力,整个研究显得很吃力。

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